電阻真空計(皮拉尼真空計)的結構

2016-03-12 真空技術網 真空技術網整理

  電阻真空計也稱皮拉尼(Pirani)真空計,它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規管和測量線路兩部分組成,其測量范圍為104~10-1 Pa。

  電阻式規管的結構如圖4-3所示,在規管殼內封裝一個用電阻溫度系數高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲,熱絲兩端用引線引出規管,接測量線路。規管殼可用金屬或玻璃制成,金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優點,缺點是密封性能較差,價格高;玻璃外殼具有密封性能好、價格低等優點,缺點是易損壞。

電阻式規管的結構

圖4-3 電阻式規管的結構

  繞制熱絲的一些電阻絲的電阻溫度系數和電阻率,如表4-1所示,其中常用的有鎢、鉑和鎳三種。為了保證熱絲的工作穩定性,除對熱絲表面進行清潔處理外,有時還在熱絲表面敷一層薄玻璃、石英或銣等,以避免熱絲在高壓力下使用時被氧化或玷污,但真空技術網(http://www.9334467.live/)認為這會使其熱慣性增大。

表4-1 一些金屬的電阻溫度系數和電阻率

一些金屬的電阻溫度系數和電阻率