立式渦輪分子泵與臥式渦輪分子泵結構比較

2013-07-12 張以忱 東北大學

  當前渦輪分子泵的結構有立式v與臥式渦輪分子泵之分。入口的氣流與旋轉軸平行的渦輪分子泵屬于立式的;進入氣流垂直于旋轉軸中心的渦輪分子泵屬于臥式的。這種臥式泵,進入氣體對稱分為兩半,直角轉向兩側分別進入兩側相同的轉子定子葉柵中,由兩側氣流匯集于共同的出口。這兩種形式的泵又稱單端泵和雙端泵。這兩種泵市場上均有出售。

臥式渦輪分子泵

  臥式渦輪分子泵特點是其轉子主軸水平布置。這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側,見圖 1 。

臥式渦輪分子泵結構示意圖

1.動片 2.定片 3.進氣口 4.軸 5.軸承 6.排氣口

圖1:臥式渦輪分子泵結構示意圖

  臥式渦輪分子泵的特點是抽氣時轉子受力均勻,軸承定位、受力狀態好,使用壽命長,且軸承更換過程中,轉子位置不動,維修方便。

立式渦輪分子泵

  立式渦輪分子泵結構如圖 2 所示。

立式渦輪分子泵結構示意圖

圖2:立式渦輪分子泵結構示意圖

  立式渦輪分子泵的轉子軸垂直安裝,只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時,被抽氣體沿著轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮,被驅向前級,由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成,F代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大,通常在 lmm 左右,因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單,所以立式泵發展很快。

  軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件,才能滿足泵的工作要求:a. 高速下具備良好的潤滑性能;b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓;c. 粘度適當,使之兼有軸承冷卻液的作用。